EDS和Mapping能证明元素均匀分布吗？ 说明：本文主要介绍 EDS 和元素 Mapping 的信号来源、点扫/线扫/面扫的空间信息、元素均匀分布的显微尺度含义，以及加速电压、样品厚度、峰重叠和配套表征对元素分布判读的影响。